第245章你难道连这个也懂

「继续讲吧。」

徐铭点点头重新看向对方，示意往下接著报告。

这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。

「对。」

「快说下其他测试项目情况？」

迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，随即接著念出手中报告后面的内容。

「线条边缘粗糙度出现异常，LER的测量值，普遍比璇玑系统预测高出30%。」

随著这句话讲出，房间内的氛围顿时一变。

原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。

没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。

而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。

旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。

从刚才的测试结果来看，国产逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。

正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。

视线约摸移动了几行内容，口中不由得低喃出声。

「线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形态，并非预测中的光滑刀刃。」

「我们的光刻胶刚完成技术升级————」

「不应出现这种情况才对？」

话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。

「璇玑系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。」

「没错。」苏振豪闻言也点了点头。

他全程见证了，徐铭亲自参与璇玑系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先于海外三大EDA公司产品。

贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇玑系统软体，都是为了制造高端晶片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。

那就是生产线无法启动。

至于院长余高远，和其他领导，因未具体参加项目。

面对稍专业的内容，无法做出判断。

只得把目光投向，身为总设计师的徐铭。

将大家的反应看在眼里，徐铭这时却并不意外，相反早就做出了类似情况的措施。

不管怎么说，这都是首次进行全链路流片验证，中间涉及到的因素实在太多太多，纵使发生状况也属于很正常的一件事情。

要知道在极紫外光刻机领域，国内可没有什么流片的具体经验。

在这件事上，还是要承认海外优势的。

念头停留在这里，他目光在众人身上扫过，接下周院士递来的报告，垂眼快速浏览完后，依旧无比镇定的讲出自己的相关判断。

「可能是工艺波动，或者测量误差，先等电性测试结果出来吧。」

「结果预计多久？」后边这句是对实验室人员说的。

「报告徐总师，电性测试也在进行中，下午应该就应能有详细数据出来。」实验室工作人员连忙沉声回答。

「那好。」

「大家就再耐心等等吧。」徐铭收回目光看向大家说。

眼看后续方向明确下来，余高远也不再沉默，主动接过话茬帮助大家调整好心态。

「为了研发出，百分之国产化的晶片制造产业链，咱们所有人都已经等了很多年。」

「哪还会差这点时间。」

「况且咱们还有将近一年时间，肯定来得及。」

尽管他很清楚，大家都肩负著很大压力，无比希望能在阿斯麦新产品正式发布前，推出国产极紫外光刻机，但越是到这个时候越是要稳住心态。

确保产品技术的绝对成熟。

而最关键的一点，是他对徐铭的信心。

有著余高远调节氛围，待实验室工作人员，急忙离开去盯电性测试时，房间内也再次恢复安静，谁都没有率先开口打破僵局进行交流。

不过可以确定一点，周启深以及化学研究所，大部分人脸上神情都肉眼可见的紧张。

仿佛在等待最终的宣判书。

在这种氛围下，中午大家甚至都没舍得，下楼去外面食堂吃饭。

直接订了些盒饭送到房间，边吃边等结果。

时间一分一秒过去，当日头走过正午，逐渐向西面偏移快到三点的时候。

万众期待下，房间的门终于再次被敲响。

这回不用徐铭开口，便有人一把拉开房门，将人拽进来的同时迫切询问。

「怎么样？」

「数据结果出来了吗？」

此话一出，也瞬间吸引现场所有人的目光。

「报告在这里。」实验室工作人员，点点头主动走过去把文件递到徐铭手中。

徐铭接下打量上去，约摸过去几分钟时间，方合上报告转递给身旁的其他人翻阅。

「你们也看看吧。」

口中话音前脚刚落下，紧跟在后面又详细分析。

「电晶体性能未能达到预期，开关速度比璇玑系统预测值慢了15%左右，且波动范围也比较大。」

「加上漏电流也比预测值高出一个量级，这会严重影响晶片的功耗出现失效「」

O

根据这几项测试的结果看，实际流片数据，根本达不到璇玑系统的数字流片，这样的良品率，可没法用于商业生产线的使用。

必须找到问题将其解决。

很快。

伴随大家都看完报告，人群中的苏振豪率先开口，依旧坚持自己的判断。

「璇玑系统的模型算法，经过了无数次验证，预测数值是不可能出现问题的。」