陈学兵说出这句话,内心也经过了一番挣扎。

扶柳传上位,让张汝京退位,这些事若传出去,以后人们不知会怎样看他。

可事情往往就是这么反直觉。

柳传还有利用的价值,张汝京继续待在中芯,却是一点好处都没有了。

这一点都不公平,可是...它需要这么发生。

“陈总,你到底站在哪一边?!”张汝京背起了手,有些激动地问道。

陈学兵早已有了迎接怒火的准备,此时十分冷静地回答:“自然是国产半导体这一边。”

“砰!”

张汝京猛地将桌上的诉讼副本拍在桌面上,语气里满是悲愤与倔强:“台积电要我退位?我偏不退!他们告一次,我接一次!1.75亿美元的赔偿我扛了,90nm,甚至65nm的技术难关我闯了,现在你告诉我,要我用退位换

和解?这不是妥协,这是认输!是对所有跟着我回国半导体的兄弟的背叛!”

陈学兵端坐不动,等张汝京的怒火稍歇才缓缓道:

“张,65nm你可以靠193nm浸没式光刻和偏光照明、OPC、RET这些光学技巧硬闯过去,可45nm不是光靠技巧就能解决的。

“台积电和英特尔在45nm已经用上了193nm浸没式、NA值1.2的光刻机、高NA透镜、双重曝光,中芯呢?你们连一台真正的193i都还没完全跑顺,更别说DP工艺整合、套刻精度、overy控制。

“45nm的栅极CD要求已经到了40nm以下,单靠193nm单曝,衍射极限摆在那里,线宽粗糙度(LWR)、CD均匀性根本压不下去。

“更别说HKMG(高K金属栅)、应变硅、低k介质、铜互连的电迁移问题,这些不是买几台设备就能解决的,需要整个工艺平台的积累。

“台积电在45nm已经做了两年以上的工艺验证,中芯现在连65nm的良率都稳定不了,你告诉我,45nm靠什么跟他们拼?靠勇气吗?”

这顿输出,把张汝京说哑了。

他没想到一个投资人,竟然跟他讲技术问题,还把问题讲得如此专业和具体。

实际上陈学兵此前对晶圆制造也就知道个流程,晓得哪些工艺比较关键,这次是让辛梦真咨询了DCT请来的日本专家,废了很大的劲才把这些专业名词的含义大概掌握,不过根据中芯国际面临的层层技术阻碍,不需要深懂,

已经让张汝京无法回答了。

“45纳米,单曝必死,多重曝光是唯一的量产路径。”

陈学兵沉声说罢,又再反问:“如果没有台积电许可,自研多重曝光思路一条,张总你告诉我,你打算怎么解决这个问题?”

前方全是台积电和Inter的专利墙,强做就是专利侵权,甚至没有人家的授权和技术文档,做下去也是成本爆炸。

他问得如此具体,张汝京已经没法用“决心”两个字来回答了。

“我们可以研究混合曝光方案...”张汝京虽回答了,但也有些势弱。

混合曝光,本质上是“能单曝就单曝,实在不行才用多重曝光”的折中方案。

专利风险虽然小一点,但仍然存在,而且工艺不一致,技术缺点太多,是工艺集成工程师的噩梦,这不是长久之路。

陈学兵微微摇头,也说明着他的答案并不具备可行性。

张汝京的脸色一阵一阵白,嘴唇动了动,却一个字也说不出来。

陈学兵的话像一把钝刀,在他的肉。

他背过身去强忍着情绪,眼眶都有些憋红了。

此时,接待室的门被轻轻推开,一个工作人员快步走了进来。

“张董,陈总,李市长和江董事到了。”

话音刚落,两道身影便走了进来。

李市长身着中山装,气质沉稳,目光扫过房间里凝重的气氛,微微皱了皱眉。

江上舟跟在一旁,头发花白,面容温和,一眼就看到了张汝京紧绷的神情和泛红的眼眶,眼中有些心疼。

“啧。”江上舟略带责怪地看着陈学兵一方,“有话好好说嘛。”

陈学兵点头致意。

张汝京像是抓住了最后一根救命稻草,快步走到江上舟面前,声音再次洪亮起来:“江秘书长,你可来了,陈总逼着我退位,说只有我退了,台积电才肯和解,才肯给我们45nm的技术授权...可这是我一手创办的中芯,是我

带着兄弟们拼出来的基业,我怎么能就这么退了?”

江上舟拍了拍张汝京的肩膀,示意他冷静,目光转向陈学兵微微颔首,而后扶着张汝京走到沙发边坐下,轻声道:“汝京,先别急,慢慢说。”

“当年是我劝你来上海建厂,我清楚你心里的那份执念——让中国人能用上自己造的芯片,不再被外人卡脖子,这份初心,我比谁都懂。”

“可是...前两天陈总和我通过电话,跟我说明了情况。”

这个“可是”一出口,张汝京表情再次沉了。

陈学兵也眼观鼻,鼻观心。

今天所有来的人,都是他的说客。

这对张汝京属实有点残忍了,他不忍心看。

“可你也要清楚,现在的局势,容不得你任性。”江上舟的声音缓缓响起,带着多年为官的沉稳与通透,“中芯的资金短缺、良率困境,这些都不是你靠一己之力就能扛过去的,你退位,不是认输,是为了中芯能活下来,为了

那些跟着你的兄弟能有饭吃,为了大陆半导体能有未来。”

“江秘书长,连你也帮他?我退了,中芯就不是我创办的中芯了!”

江上舟握住张汝京的手:“不,中芯还是中芯,只要它还在做大陆自己的芯片制造,只要它还能撑起半导体产业的希望,它就还是你一手创办的中芯...”

李市长也上前,低声讲了一些国家大局,牺牲成全之类的话。

俩人劝了好一阵,竟给张汝京说得热泪盈眶的。

要不还是老一辈革命工作者会做思想工作,陈学兵真不擅长这个。

他见张汝京语气稳下来,才道:“张董,我没有把你赶出去的意思,只是让你当个幕后董事长,股份和期权权力保留,会有专人向你定期汇报中芯的各项工作,还可以安排专人董事来传达你的意见,而且也不是让你马上就

退,少说有半年到一年的过渡期,退了以后,你还是可以做你热爱的半导体工作。”

众人安静了下来。

张汝京亦恢复了冷静:“你想错了,台积电和我是有些恩怨,但他们着急把我赶出去,是怕我大干快上,继续建厂,并且中芯有很多人是我从世大半导体带过来的,世大被台积电收购以后,不乏熟悉台积电工艺细节的工程

师,他们怕我继续挖人,形成持续的技术外流,我是中芯融资、建厂、技术迭代的重要动力,他们要摧毁的是这个,你想让我当幕后指挥,他们根本不会同意,甚至根本不会让我在半导体行业继续工作。”

陈学兵沉思了一会,一一解答: